技術(shù)原理
       等離子體處理：通過高頻電源激發(fā)氣體(如氧氣、氮?dú)?、氬氣?產(chǎn)生高能等離子體， 利用其中的活性粒子(離子、電子、自由基)與IC載板表面發(fā)生物理或化學(xué)反應(yīng)。
      
      在線垂直式設(shè)計(jì):基板在框架式傳送帶放入等離子腔體內(nèi)處理，實(shí)現(xiàn)自動化流水線作業(yè)，適合大批量生產(chǎn),框架傳送設(shè)計(jì)支持不間斷處理，產(chǎn)能顯著高于批次式設(shè)備。