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垂直式等離子蝕刻清洗設(shè)備


■ 可進(jìn)行孔內(nèi)膠渣去除、表面清潔、粗化、活化等

詳細(xì)介紹

應(yīng)用領(lǐng)域 
     ★ PI表面粗化及清潔
     ★ PCB孔內(nèi)除膠、表面清潔
     ★ FPC孔內(nèi)除膠、表面清潔
      電子材料表面粗化、清潔
     ★ COVERLY表面粗化、清潔

產(chǎn)品特點(diǎn)
      特殊氣體進(jìn)氣、擴(kuò)散及抽氣系統(tǒng)設(shè)計(jì)
      合理的等離子反應(yīng)空間,處理之均勻性佳
      多種制程氣體的使用
      全自動簡單易操作設(shè)備穩(wěn)定性高,易維護(hù)
     可根據(jù)客戶需求定制專用規(guī)格機(jī)臺

產(chǎn)品規(guī)格

設(shè)備尺寸/Machine Size

2510(W)*1665(D)*2090(H)mm

真空腔體尺寸

1340(W)*1570(D)*1240(H)mm

電極有效尺寸

25"*44"

輸 出 功 率

10KW

輸出頻率

40KHz

電 力

380VAC/100A/3PH/50Hz

可加載氣體

四種 (O2,N2,CF4,H2)

溫度監(jiān)測系統(tǒng)


冰水機(jī)/Chiller


真空泵浦


臺車



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