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水平式等離子蝕刻清洗設(shè)備


■可進行孔內(nèi)膠渣去除、表面清潔、粗化、活化等

詳細介紹

應(yīng)用領(lǐng)域

★ PI表面粗化及清潔;

★ PI表面粗化及清潔;

★ PCB孔內(nèi)除膠、表面清潔;

★ FPC孔內(nèi)除膠、表面清潔;

★ 電子材料表面粗化、清潔;

★ COVERLY表面粗化、清潔。

產(chǎn)品特點

工藝簡單,處理過程自動控制

產(chǎn)品處理時間短,效率高

多種制程氣體使用

設(shè)備操作簡單方便,穩(wěn)定性高,易于維護

可根據(jù)客戶需求定制專用規(guī)格機臺

產(chǎn)品規(guī)格

機臺尺寸

1865(W)*1810(D)*2105(H)mm

真空腔體尺寸

675(W)*1455(D)*960(H)mm 

電極有效尺寸

22"*50"

電極分布

13層/Thirteen layers

輸出功率

10KW

輸出頻率

40KHz

電力

380VAC/100A/3PH/50Hz

可加載氣體

四種(O2,N2,CF4,H2)

冰水機

真空泵浦


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